EDS 原理及应用能量分散谱仪：EDS (Energy Dispersive Spectrometer) EDS是能快速地分析各种试 样的微区内Be-U的所有元素 的一种设备。EDS可以与 EPMA，SEM，TEM等组合 ，其中SEMEDS组合是应 用最广的显微分析仪器。EDS检测原理 光子能量检测过程 X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器 后，在晶体内产生电子一空穴对。在 低温下，产生一个电子空穴对平均 消耗能量为3.8ev。能量为E的X射线光 子产生的电子空穴对为NE/3.8 。 例如：MnKa能量E为5.895KeV，形成 的电子空穴对为1550个。Cak: 3.7KeV，约产生1,000电子空穴对。 电子-空穴对形成电压脉冲信号，探测 器输出的电压脉冲高度对应X射线的能 量。定性分析原理 X射线的能量为Eh h为普朗克常数，为光子振动频率。 不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，只要 检测不同光子的能量（频率）, 即可确定元素定性分析.可分为定点 ，线扫描，面扫描分析 特征 特征X X射线的产生： 射线的产生：物质原子内层的某些电子被轰 击，或跃迁到外部壳层
