MEMS 压力传感器原理与应用 报告人：高峰主要内容 v 1.MEMS 压力传感器简介 v 2.MEMS 压力传感器原理 v 3.MEMS 压力传感器的制作过程简介 v 4.MEMS 压力传感器的应用MEMS 压力传感器 v MEMS （微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及 信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型 机电系统。 v MEMS 压力传感器可以用类似集成电路（IC ）设计技术和制 造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产。传统的机械量 压力传感器是基于金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形 到电量转换输出，因此它不可能如MEMS 压力传感器那样做 得像IC 那么微小，成本也远远高于MEMS 压力传感器。相对 于传统的机械量传感器，MEMS 压力传感器的尺寸更小，最 大的不超过1cm ，使性价比相对于传统“ 机械” 制造技术大幅 度提高。MEMS 压力传感器原理 v 目前的MEMS 压力传感器有硅压阻式压力传 感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅 片上生成的微机械电子传感器。硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作 为力电变换测量电路的
