XRF光谱仪原理及维护 一.X射线荧光仪概论 .炼钢炉前分析的发展 u手动湿法分析 u手动仪器分析 u自动快速分析 .快速分析的几种模式 X荧光 火花光谱 制样（铣床 ） 机械手 试样归类存储 进样XRF光谱仪通常分成两大类： 1.能量色散光谱仪(EDXRF) 2. 波长色散光谱仪(WDXRF) X射线荧光仪分类 1.能量色散光谱仪(EDAXS) X光管样品探测器定标器微机 X光管或放射性同位素 半导体探测器 样 品 冷却器 多道分析器 MCA 二维光学（光管直接激发）EDXRF X光管初级辐射直接激发样品，由样品发射的荧光直接进入探测器进行光电转换 和能量分辨，信号输入多道分析器进行定性和定量分析。这种方式的仪器适用于 快速定性分析和常规样品定量分析。其优点是定性分析速度快，缺点是对轻元素 和重元素，分析效果差。 Minipal4三维光学 （二次靶片振光激发） 放大器及多道分析器 探测器 二次靶 样品 X光管 X光管初级辐射激发二次靶(如Ti ka，多个) ，用偏振的靶线激发样品，产生样 品荧光，经探测器光电转换并分光，输入多道分析器，进行定性和定量分析。 通过偏振，降低背景，提高灵
