制绒段单多晶常见不良及常规解决方法ppt课件.ppt

上传人:晟*** 文档编号:9326373 上传时间:2021-12-09 格式:PPT 页数:28 大小:1.44MB
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资源描述

制绒段单多晶常见异常及 常规解决方法 制绒不良树状结构图片源异常及解决方法 1 、指纹及划痕 指纹片源于:硅片厂家在硅片清洗过程时进 行裸手插片,或者插片时所穿戴的手套 不能满足隔汗要求(自身来料检有时也 会引入); 划痕源于:硅片厂家在插片过程的摩擦,同 时也来源于硅片厂家的硅片检验以及我 们公司自身的来料检验。 指纹区 划伤区 表现形式:指纹或划伤经制绒后均清晰显现 ,制绒后,指纹或划伤区的颜色较正常 区域浅,从而显得该区域略显发白; 解决方法:指纹与划伤在制绒良好时,均不 会导致B2 片产生,对B1 片贡献也相对较 小。在上述问题产生时,可维持正常生 产时,同时,收集好指纹及划伤片的实 例照片,并进行指纹及划伤片数目大致 汇总。片源异常及解决方法 更多照片: 通过问题反馈及供应商自 身改善,指纹及划伤出 现的概率较之前大幅下 降,但仍有部分厂家硅 片存在较多指纹及划伤 。 历史黑名单:晶科、天元 、聚能、东泰、芯能、 顺大 当前:合格供应商中,天 元硅片指纹及划伤出现 的概率仍相对较高片源异常及解决方法 2 、脱胶不良 脱胶不良产生原因:硅片厂家在进行硅片脱胶处理时,硅片粘棒一侧

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