MEMS压力传感器简介及工艺 目录 MEMS压力传感器简介 1 传感器结构和工作原理 2 一种电容式压力传感器制造工艺 3 总结 4 MEMS压力传感器就是利用MEMS技术加工制造的 压力传感器。 作用是将压力这个物理量转化为电量来测量。 特点：体积小、重量轻、精度高、温度特性好。 分类： 目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传 感器和硅电容式压力传感器。 两者都是在硅片上生成的微机械电子传感 器。硅压阻式压力传感器 硅电容式压力传感器 传感器的制造工艺与半导体集成电路平面工艺兼 容, 这就满足了传感器向智能化方向发展的要求。 产生了微型传感器、执行器以及信号处理和控制 电路等集成一体的MEMS器件。 与压阻式压力传感器相比, 电容式压力传感器具 有高灵敏度、低噪声和较大的动态范围等显著的 优点。 接触式电容压力传感器由硅膜片、衬底、衬底电 极和绝缘层构成。 左图是没有受到压力作用的情况, 上下电极间是一 个电容结构; 右图是受压力作用后硅膜片变形的情 况。这时, 可以发现电极间距d 发生了相应的变 化。 MEMS的制造技术主要包括两类技术：集成电路 技术和微机械加工技术。这两类加工
