AFM的工作原理和 应用 姓名：赵慧旭 学号：2120110242铂悦（上海）有限公司Multimode 生物型原子力显微镜工 作 原 理及仪 器 结 构 操 作 模 式 常 见 问 题 应 用 举 例一、AFM的基本原理： 将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定 ，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻 轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间 存在极微弱的作用力，通过在扫描时控制这种 力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与 样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样 品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧 道电流检测法，可测得微悬臂对应于扫描各点 的位置变化，从而可以获得样品表面形貌的信 息。 AFM原理图 二极管激光器发出的激光束经过光学系统 聚焦在微悬臂背面，并从微悬臂背面反射到由光电二 极管构成的光斑位置检测器。在样品扫描时，由于样 品表面的原子与微悬臂探针尖端的原子间的相互作用 力，微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏，反射光束 也将随之偏移，因而，通过光电二极管检测光斑位置 的变化，就能获得被测样品表面形貌的信息。 在系统检测成像全过程中，探针和被测样 品间的距离始终保持在纳
