精选优质文档-倾情为你奉上精密工作台的光栅定位测量系统设计姓名 好心人成绩 中等班级 08测控（1）班指导老师 陈本永前言光栅式位移测量技术，由于其具有高精确度、高分辨率、大量程、较强的抗干扰能力、较高的测量速度等特点，可实现动态测量、自动测试和数字显示功能等优点,在超精加工、微电子、微纳米技术等领域具有广阔的应用前景。国内、国外的现状概述随着数控技术在机床制造领域的普及，现代机床在加工速度，加工精度和可靠性方面都有了巨大的进步。作为数控机床核心技术之一的光栅测量技术对保障现代机床的各项性能指标起着决定性的作用。清楚了解现代光栅测量技术的发展趋势，正确选择适合自身需求的光栅测量系统对机床设计师和机床用户有着重要的意义。 全闭环控制逐渐成为标准，由精密丝杠和编码器构成的半闭环控制系统对于机床热变形导致的加工误差无法进行补偿。在过去的十余年中，采用数学建模预测变形或通过实时测量温度变化来计算变形等尝试在技术上和经济性上都未能取得令人满意的结果。 采用全闭环控制结构的机
