精密工作台光栅定位测量与控制系统设计(共36页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上精密工作台的光栅定位测量与控制系统设计2013姓名：陈 XX学号：B09xxxxxx指导老师：陈本永、王丽敏精密仪器课程设计学长的一片苦心呀！各位！要过本永哥的课，要拼人品！目 录第1部分 国内外现状概述一、研究背景与意义几何形状是客观世界中最广泛最具体的物质形态，几何量就是表征客观物体大小、长短、形状及位置的物理量。其中长度是几何量的基本参量，长度量的精密计量具有极为重要的意义。当前，制造业省人化、自动化趋势进展迅猛异常，而测量作业在此过程中是不可或缺的关键环节，它与生产加工和制品运送同等重要。当今世界，提高运营效率已成为制造业面临的重大课题，制造技术也随之掀起了不断革新的浪潮。近代机械工业尤其是当代超精密加工技术、微纳米技术、微机电系统等的兴起与发展对长度量的测量提出了越来越高的要求。近几十年来，随着激光技术在精密位移测量中的应用，长度量的工程测量技术有了飞速的发展。制造业是国家的