扫描近场光学显微镜 汇报人：主要内容 1. 概述 2. SNOM的发展历史 3. 基本原理及相关技术 4. 应用前景 扫描近场光学显微镜（SNOMScanning Near-field Optical Microscopy）是依据近场探测原 理发展起来的一种光学扫描探针显微（SPM）技 术。其分辩率突破光学衍射极限，达到10 200 nm。在技术应用上， SNOM为单分子探测，生物 结构、纳米微结构的研究，半导体缺陷分析及量 子结构研究等多个领域提供了一种有力的工具； 在物理上，它将量子光学、波导光学、介关物理 等多个学科联系在一起，并由此开辟了一个新的 光学研究领域近场光学（ Near-field Optics） 。 概 述SNOM的发展历史 及国内外的研究现状 1928年，E.H.Synge 提出“近场探测原理” 1972年，E.A.Ash 等人在微波波段(= 3 cm)实现了/60(0.5mm)的分辨率 1981年，IBM的G.Binnig发明了STM 1982年，D.W.Plhl实现了SNOM分辨率为25nm 90年代后，Bell实验室的E.Betzig解决了镀 Al膜的光纤超
