第三章 扫描电子显微镜第三章 扫描电子显微镜 1. 扫描电镜的优点 2. 电子束与固体样品作用时产生的信号 3. 扫描电镜的工作原理 4. 扫描电镜的构造 5. 扫描电镜衬度像 二次电子像 背散射电子像 6. 扫描电镜的主要性能 7. 样品制备 8. 应用举例1. 扫描电镜的优点 l 高的分辨率。由于超高真空技术的发展，场发射电子 枪的应用得到普及，现代先进的扫描电镜的分辨率已 经达到1 纳米左右。 l 有较高的放大倍数，20-20 万倍之间连续可调； l 有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观 察各种试样凹凸不平表面的细微结构 l 试样制备简单。 l 配有X 射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织 性貌的观察和微区成分分析。 Optical Microscope VS SEM2. 电子束与固体样品作用时产生的信号 l 2.1 弹性散射和非弹性散射 l 2.2 电子显微镜常用的信号 l 2.3 各种信号的深度和区域大小2.1 弹性散射和非弹性散射 当一束聚焦电子束沿一定方向入射到试样内时，由于受到固 体物质中晶格位场和原子库仑场的作用，其入射方向会发 生改变，这种现象称为散射
