第5 章 数控机床的位置传感器件 传感器件是将一种物理量转换为另一种物理量 的装置。在数控机床中，出于以下一些目的而 使用各种不同工作原理的传感器件，包括： 检测工作台位置 测量主轴转速 测量刀尖温度 检测轴的传输功率( 力矩测量) 测量油或切削液的流量 测量液压系统的压力 25.1 数控机床位置传感器件的类型 数控机床的位置传感器件用于将位移量转换成电信号 输出。这些输出信号一般比较弱，要由信号处理单元 对其进行进一步变换和放大，成为较强的、并且利于 输入数控机床控制单元( 数控系统) 的信号。输入数控 机床控制单元的信号一般是电流或电脉冲信号，在闭 环系统中，这些信号作为反馈信号与参考输入信号相 减，就得到闭环控制的偏差信号。 1. 直线位移传感器 2. 角位移传感器 3. 模拟或数字位移传感器 4. 绝对、半绝对或增量位移传感器 35.2 光栅位移检测装置 早在19 世纪，光栅的衍射效应就被人们用来进 行光谱分析和光波波长的测定等工作，但是将 光栅实际用作长度计量和数控机床的位置传感 器件还是近四、五十年的事。到20 世纪70 年代 以后，由于微电子技术的飞速发展和日臻成熟 ，应
