集成电路制造工艺ppt课件.ppt

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集成电路制造 集成电路制造 工艺 工艺集成电路的发展历史 集成电路 Integrated Circuit,缩写 IC 通过一系列特定的加工工艺,将晶体管、二极管等 有源器件和电阻、电容等无源器件,按照一定的电路 互连,“集成”在一块半导体单晶片(如硅或砷化镓 ) 上,封装在一个外壳内,执行特定电路或系统功能集成电路芯片显微照片各种封装好的集成电路1.1900年普朗克发表了著名的量子论 揭开了现代物理学的新纪元,并深深 地 影响了20世纪人类社会的发展。 2.之后的2,30年时间里,包括爱因斯坦 在内的一大批物理学家逐步完善了量子理 论,为后来微电子的发展奠定了坚实的理 论基础 历史的回顾1947年圣诞前夕,贝尔实验 室的科学家肖克利(William Shockley)和他的两助手布拉 顿(Water Brattain 、巴丁 (John bardeen)在贝尔实验 室工作时发明了世界上第一 个点接触型晶体管 由于三人的杰出贡献,他们分享了 1956年的诺贝尔物理学奖 世界上第一个点接触型晶体管锗多晶材料制备的点接触晶体管集成电路的发明 杰克-基尔比 1959年1959年第一块集成电路:

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