四探针法测方块电阻的原理(共2页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上四探针法测方块电阻的原理四探针法是一种简便的测量电阻率的方法。对于一般的线性材料，我们常常用电阻来表征某一段传输电流的能力，其满足以下关系式： (式3-1)其中、l和s分别表示材料本身的电阻率、长度和横截面积。对于某种材料满足关系式： (式3-2)ne、nh、un、uh和q分别为电子浓度、空穴浓度、电子迁移率、空穴迁移率和基本电荷量。对于具有一定导电性能的薄膜材料，其沿着平面方向的电荷传输性能一般用方块电阻来表示，对于边长为l、厚度为xj方形薄膜，其方块电阻可表示为： (式3-3)即方块电阻与电阻率成正比，与膜层厚度成反比，而与正方形边长无关。方块电阻一般采用双电测电四探针来测量，测量装置如图3-4所示。四根由钨丝制成的探针等间距地排成直线，彼此相距为(一般为几个mm)。测量时将针尖压在薄膜样品的表面