第十四章扫描电子显微镜 本章要点： 1.入射电子束与样品作用后产生的各种信号及其特点 3.扫描电镜的分辨率决定因素(入射电子束直径和调制信号类型) 2.扫描电子显微镜的构造和原理 4.二次电子的特点、 扫描电镜二次成像各种形貌衬度特点 5.背散射电子特点 扫描电镜二次电子成像与背散射电子成像的不同点 (ScanningElectronMicroscope,SEM)透射电镜TEM成像原理:根据电子具有与可见光相似的波动性， 利用电磁透镜放大成像. 扫描电镜SEM成像原理：与TEM不同, 扫描电镜从原理上讲就是 利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理 信号。通过对这些信号的接受、放大和显示成像，获得试样表面 形貌像。（常用的物理信号：二次电子） 概述特别说明： 对于TEM，物镜和投影镜之间还存在“中间镜” 对于SEM,聚光镜与物镜之间加一个“扫描线圈” 光学显微镜 透射电镜 扫描电镜 电子探针光路比较 光源 聚光镜 样品 样品 物镜 荧光屏或照相底片 信号探测器 O M TEM SEM 投影镜 样品 二次 电子 特征X 射线 EPMA(EDS, WDS) Electron
