第5章 电容传感器 被测量 改变介电常数 改变极板面积 S 改变极板距离 d 变间隙式 变面积式 变介电系数式 用于液位、物位、压力、差压、湿度、位移、厚度、 振动、加速度及荷重等多种参数的检测。 5.1 电容传感器的工作原理 5.2 电容传感器的测量电路 5.3 电容传感器的应用5.1 电容传感器的工作原理 变换原理:将被测量的变化转化为电容量变化 两平行极板组成的电 容器,它的电容量为: + + + A 、A或发生变 化时，都会引起 电容的变化。电容传感器可分为三种类型： 变间隙式、变面积式、变介电常数式。 5.1.1 改变极板间距d的电容传感器 5.1.2 改变极板面积S的电容传感器 5.1.3 改变极板介电常数的电容传感器 5.1.4 电容式传感器的等效电路几种不同的电容式传感器的原理结构图 （a）（b）为变极距型 ； （ c）（d）（f）为变 面积型； （g）（h）为变介电常 数型。 （a）（b）（c）（e） 是线位移传感器； （d）是角位移传感器 ；（b）（f）是差动式 电容传感器。5.1.1 改变极板间距d的电容传感器极距变化型 + + + + + +极间距离为d 0 的
