1 电容式传感器的工作原理及分类 2 电容式传感器的测量电路 3 电容式传感器的特点及设计改善措施 4 电容式传感器的应用1.1 工作原理及结构形式 电容式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成 传感元件电容量的变化，再经过测量电路将电容量 的变化转换成电信号输出。 电容式传感器实际上是一个可变参数的电容器。 电容式传感器工作原理图 平板电容器电容量表达式为： 三个参数都直接影响着电容量的大 小。如果保持其中两个参数不变，而使另外一个 参数改变，则电容量就将发生变化。 如果变化的参数与被测量之间存在一定函数关系 ，那么电容量的变化可以直接反映被测量的变化 情况，再通过测量电路将电容量的变化转换为电 量输出，就可以达到测量的目的。 电容式传感器通常可以分为三种类型：改变 极板面积的变面积式；改变极板距离的变间隙式 ；改变介电常数的变介电常数式。2.1 变面积式电容传感器 变面积式电容式传感器通常分为线位移型和角位移 型两大类。 （1 ）线位移变面积型 常用的线位移变面积型电容式传感器可分为平面线 位移型和柱面线位移型两种结构。 对于平板状结构，在图4-2 （a ）中，两极 板有效覆盖面积
