1 硅片性质、生产流程及其工艺 2 硅片性质、生产流程及其工艺 硅片性质 : 硅片尺寸 : 3 硅片性质、生产流程及其工艺 硅片性质 : 硅片内控标准 4 整个工艺流程： 线开方粘棒 线开方 线开方去胶 滚磨 粘棒 切片 去胶 清洗、烘干 分选 包装 硅片性质、生产流程及其工艺 5 硅片生产工艺流程介绍: 1 、线开方粘棒 : 硅片性质、生产流程及其工艺 6 2 、线开方 注：上图为从瑞士HCT 购买的线开方机器，满载可以切割25 根500mm 长的晶棒，时间约为11h/ 刀 现状: 硅片车间现有3 台HCT 线开方机器，型号为E800S-SQ 硅片性质、生产流程及其工艺 7 2 、线开方 线切割原理: 砂浆中的金刚砂附着在高速行走的钢线上磨削形成切割； 金刚砂: 学名绿碳化硅； 悬浮液: 简称切削液，学名聚乙二醇 ； 砂浆 按切割密度要求的配比混合 图1 为正在烘箱中的金刚砂 图2 为正在配制砂浆的沙浆缸 图1 图2 硅片性质、生产流程及其工艺 8 2 、线开方 上棒: 从粘棒处领取上一工序粘接好的圆棒，将圆棒装到线开方工作台 上 装好晶棒后，将工作台送入切割室，准备切割 图中带5
