离子注入机简介 1 离子注入机的种类 中束流 A 350D NV6200A 大束流 mA NV10-80 NV10-160 NV10-160SD NV10-180 26200、NV10160、10180、10160SD简介 离子注入机按照真空系统分为三个部分 SOURCE BEAM LINE END STATION 3SOURCE BEAM LINE END STATION 6200 FILAMENT ARC EXTRACTION ACCEL / DECEL SUPPRESSION ANALYZER SUPPRESSION ACCELERATION Q-LENS X 、Y SCAN FARADAY SYSTEM END STATION CONTROL NV10160 NV10180 NV10160SD FILAMENT ARC VAPORIZER SOURCE MAGNET SUPPRESSION EXTRACTION (HV) ANALYZER ACCELERATION FLAG FARADAY DISK FARADAY 各部分包括的控制器 4 离子注入的原理 离子源产生的离子在吸极
