4.1 光波导制作概述 4.2 光波导衬底材料及加工 4.3 无源材料光波导制备技术 4.4 有源材料光波导制备技术 4.5 光路几何图形的加工工艺 4.6 光刻技术 4.7 电子束扫描法 4.8 光波导加工技术 4.9 条形波导的制作方法 第4章 光波导的制备技术 【目录】【本章教学目的和学习目标 】 第4章 光波导的制备技术 掌握制备光波导薄膜材料 掌握光波导衬底材料的特性 掌握无源材料光波导的制备技术 掌握有源材料光波导的制备技术 掌握光刻技术和工艺 掌握光波导的加工技术 掌握条形波导的制作方法 掌握条形波导电极制作方法 光波导的制备通常需要两个过程，首先是要制作光波导薄膜，然后在 光波导薄膜上制作光波导器件最终形成集成光路。光波导薄膜的制作技术 主要包括原子掺杂技术，淀积技术，外延生长技术和电光技术。通过这些 技术可以制作出光波导薄膜。光路几何图形的微细加工技术主要包括化学 腐蚀法刻蚀和离子束刻蚀。进行刻蚀的目的：一是规定光的传输方向，让 光在通道上有效通过，二是在规定的通道上加工制作不同光波导器件以便 对光信号进行调制、分束、开关和探测。本章将在介绍光波导材料和衬底 材料的基
