第5 章 电容式传感器主要内容 5.1 电容式传感器的工作原理 5.2 变极距型电容式传感器的非线性 5.3 电容式传感器的等效电路 5.4 电容式传感器的信号调节电路 5.5 电容式传感器的应用 n 电容式传感器利用了将非电量的变化转换为电容量的 变化来实现对物理量的测量。 n 广泛用于位移、振动、角度、加速度以及压力、差压 、液面（料位）、成份含量等方面的测量。 n 特点： n 结构简单、体积小、分辨率高； n 可实现非接触式测量； n 动态响应好； n 能在高温、辐射和强振动等恶劣条件下工作； n 电容量小，功率小，输出阻抗高，负载能力差，易受外界干 扰产生不稳定现象。5.1 电容式传感器的工作原理n 在实际使用中，通常保持其中两个参数不变， 而只变其中一个参数，把该参数的变化转换成 电容量的变化，通过测量电路转换为电量输出 。 n 电容式传感器可分为三种： n 变极板间距离的变极距型 n 改变极板面积的变面积型 n 改变介质介电常数的变介质型 电容式传感器的结构5.1.1 变面积型电容式传感器 n 电容改变量与水平位移成线性关系 n 电容改变量与角位移呈线性关系 5.1.2 变
