微机电系统 机械电子工程学院专业选修课程 机械电子工程学院专业选修课程 Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS)教材 参考书籍 参考书籍 微系统技术， 微系统技术， 德 德 W.Menz W.Menz 著，王春海等译， 著，王春海等译， 化学工业出版社， 化学工业出版社， 2003 2003 半导体制造技术， 半导体制造技术， 美 美 Michael Quirk & Julian Michael Quirk & Julian Serda Serda 著，韩郑生等译，电子工业出版社， 著，韩郑生等译，电子工业出版社， 2003 2003 刘晓明,朱钟淦.微机电系统设计与制造 国防工业出版社,2006课 课 时 时 32 hours 32 hours 上课时间 上课时间 第 第 9 9 周 周 - - 第 第 16 16 周 周 周一 周一 10:20AM 10:20AM ， ， 主楼东 主楼东 Room401 Room401 周三 周三 10:20AM 10:20AM ， ， 主楼东 主楼东 Room219 Room219 考试方式 考试方式 闭卷 闭卷
