微机电系统 机械电子工程学院专业选修课程 机械电子工程学院专业选修课程 Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS)第6章微执行器 微执行器的致动方式与材料 微执行器的致动方式与材料 典型微执行器 典型微执行器 微马达 微马达 典型微执行器 典型微执行器 微泵阀与微流量系统 微泵阀与微流量系统 典型微执行器 典型微执行器 梳状位移驱动器 梳状位移驱动器第一部分 微执行器的致动方式与材料 微执行器的主要驱动方式及其对应材料(分类方法1) 电（静电/压电/电致伸缩/凝胶/电流变体） 磁（磁力/磁致伸缩） 热（SMA/双金属/热气动） 光、化学等 采用驱动材料与驱动结构的关系(分类方法2) 机械微结构型运动在零件间生成，材料可应力变形 可变形微结构型运动在零件材料内生成 再按照刚性、柔性材料分 对比：摩擦、行程、响应、“智能性”、尺度、结构复杂 性压电效应与逆压电效应，与电致伸缩原理区别 典型材料PZT陶瓷（锆钛酸铅PbZrO 3 -PbTiO 3 ），弹性模 量为63000MPa，应变为0.001量级 典型产品微执行器，微阀泵、超声微马达、微声器件等 特点精确
