纳 米压 印技术综 述 绘梨衣 2018/11/011. 纳米压印技术的背景 2. 纳米压印技术的分类 3. 纳米压印技术的现状和发展趋势纳 米压 印技术 背景 纳米压印的基本原理：通过模板将图形转移到衬底上，转移 的媒介一般为聚合物薄膜，通过热压或紫外光固话的方法保 留下转移的图形，从而实现微纳结构的制造。 基本工艺流程 Ref. Chou S Y, Krauss P R, Renstrom P J. Imprint of sub 25 nm vias and trenches in polymersJ. Applied physics letters, 1995, 67(21): 3114- 3116.纳米压印技术的优势 光学光刻的分辨率受限于 设备体积小 成本相对较低 生产效率高 容易制备高深宽比图案 纳米压印纳米压印技术的发展历程 热压印 1995, Stephen Chou, et al. 滚筒压印 1998, Stephen Chou , et al. 步进闪光压印 1999, Colburn, Matthew, et al. 三层膜系统 2000, Lebib, A.,
