纳米压印技术ppt课件.ppt

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纳米压印技术主要内容 1. 纳米压印技术简介 1.1 压印技术 1.2 纳米压印技术 1.3 纳米压印关键工艺步骤 2. 纳米压印工艺 2.1 热压印技术 2.2 紫外光固化压印(步进- 闪光工艺) 2.3 软模板压印技术(SCIL ) 2.4 逆压印技术 2.5 滚筒压印技术 3. 纳米压印技术应用领域及前景2. 纳米压印技术简介 1.1 压印技术 说到压印技术,其实并不神秘,中国 古代四大发明之一的活字印刷术就是 最初压印技术的原型。通俗的说,压 印就是把一个刻有凸凹图案的印章盖 在橡皮泥上,然后在其上面留下与章 的图形相反的图案。1.2 纳米压印技术 纳米压印技术是1995 年华裔科学家 Stephen Y.Chou 提出的,压印过程与 刚才所讲的压印技术是类似的,不同 的是这个过程所涉及到的图案大小在 几个纳米到几十个纳米之间1.3 关键工艺步骤 1. 模板制造 2. 压印过程(模板处理,加压,脱模过 程) 3. 图形转移过程 4. 相关材料研究(模板材料,衬底材料 ,纳米压印胶)2. 纳米压印工艺 2.1 热压印 首先在某一衬底 上涂一层胶,然 后在一定温度, 一定压力下,

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