单击此处编辑母版标题样 式 单击此处编辑母版副标题样式 * * 1 1 第五节 透射电子显微分析 Transmission Electron Microanalysis （TEM） 透射电子显微分析是利用透射电子对试样的显微形貌和显微结构 进行分析的一种方法，是材料测试的一种重要手段。本节主要内容 一. 透射电镜的结构 二. 透射电镜的主要性能指标 三. 电子衍射 四. 透射电镜图像的衬度 五. 透射电镜样品的制备方法 六. 复型图像分析中应注意的问题一. 透射电镜的结构 电子照明系统 成像放大系统 图像显示及观察记录系统 样品室和样品台 真空系统 电气系统电子照明系统 成像放大系统 样品室和样品台 图像显示及 观察记录系统 真空系统 电气系统日立 日立 H800 H800 透射电子显微镜 透射电子显微镜观察窗与荧光屏 双目镜TEM与SEM的比较光学显微镜与TEM的光路比较 视平面 投影镜 照明设备 聚光镜 物 镜 试 样二. 透射电镜的主要性能指标 （一）分辨率 分辨率是透射电镜的主要性能指标，它表征透射电 镜显示超显微结构细节的能力。透射电镜的分辨率用 两种指标表示：即点分辨率和线
