磁敏传感器元件及其工业应用-中国仪器仪表行业协会(共5页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上磁敏传感器/元件及其工业应用徐开先，李洪儒 沈阳仪表科学研究院 1磁敏元件概述随着科学技术水平的不断提高，磁敏元件在信息产业、工业自动化、能源电力、交通运输、电力电子技术、家用电器、医疗设备等行业得到了快速普及和发展，特别是在测量和控制领域已经越来越成为不可或缺的产品。1.1定义磁敏元件是对磁信号或者是对能够转变为磁信号的那些信号参数敏感的元件，具有把磁学物理量转换为电信号的功能。1.2磁敏元件分类目前所能制造的磁敏元件从材料、结构、原理等角度综合考虑，大致可分为以下类别：霍尔元件：Ge、Si、InAs、GaAs、InSb磁阻元件：InSb、InSb/NiSb体型元件（含薄膜元件）分立元件磁敏二极管：Ge、Si半导体磁敏元器件磁敏三极管：Si结型元件Z效应频率输出磁敏器件：Si磁控可控硅：Si磁敏元件开关型集成霍尔器件线性集成霍尔器件硅集成霍尔元器件电磁感应线圈强磁体磁阻元件超导量子干涉器件威根