第一次综述热载流子注入效应对MOS器件性能的影响(共12页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上热载流子效应及其对器件特性的影响 组长：尹海滨 整合资料撰写综述组员：马祥晖 查找问题三资料 王小果 查找问题二资料 李洋 查找问题一资料目录一 绪论3二 正文主题41热载流子与热载流子注入效应41.1载流子的概念1. 2热载流子的概念及产生1. 3热载流子注入效应1.4热载流子效应的机理2热载流子注入效应对MOS器件性能的影响62.1热载流子对器件寿命的影响2. 2热载流子效应的失效现象2.2.1雪崩倍增效应2.2.2阈值电压漂移2.2.3 MOSFET性能的退化2.2.4寄生晶体管效应2.3热载流子注入对MOS结构C-V和I-V特性的影响2.3.1热载流子