精选优质文档-倾情为你奉上设 备 使 用 说 明 书设备名称：等离子蚀刻设备设备型号: KWT-200-1000FSK北京中联科利技术股份有限公司Beijing China United Cleaning Technology Co.,Ltd.地址：北京市朝阳区北苑路40#邮编：电话：010-传真：010-目 录一、概述二、主要技术指标三、工作原理及结构特征四、工艺特性及控制要点五、使用说明（一）、塾悉本机资料 （二）、开机前的准备 六、操作说明
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