附件：1、设备名称、技术参数及功能要求一、设备名称、技术参数及功能要求：设备名称：光谱椭偏仪1. 主机技术参数1.1 *要求整机原装进口，并提供原产地证明1.2 波长范围：380nm890nm，光谱测试间隔 0.01ev1.3 光斑直径：光斑直径 2mm1.4 *入射角：包含 65,70,75 及 90 度1.5 样品对准：计算机控制自动对准（自动 Z 轴调节）1.6 结构：一体化设计，除电源外，仅需连接 USB 线到计算机1.7 *软件：5 个软件使用许可，模型或材料层至少包含以下分析方式：光学常数梯度模型（线性梯度，参数梯度） ，EMA 掺杂（线性，梯度） ，各向异性（单光轴、双光轴） ；可组合多个振子的色散式 Gen-Osc 层，可方便的将任意光学常数参量化。2. 主机性能要求2.1 补偿技术：步进式旋转补偿技术2.2 测量时间：测量整个光谱范围 10 秒钟以内(测量整个仪器标称光谱范围） ；2.3 *参数测量范围：（090） ；（0360） ；12 个穆勒矩阵元；退偏振，透过率及反射率 2.4 测量正确度：98%以上的被测点满足 450.1 00.2（直射测量，即测空气） ；2.5 测量重复性：膜厚测量的重复性优于 0.01nm（30 次 SiO2 厚度测量的标准偏差，样品为带有 25nm 热氧化层的硅片）专家论证意见
