CMOS 工艺流程与MOS 电路版图举例 1. CMOS 工艺流程 1) 简化N 阱CMOS 工艺演示flash 2) 清华工艺录像：N 阱硅栅CMOS 工艺流程 3) 双阱CMOS 集成电路的工艺设计 4) 图解双阱硅栅CMOS 制作流程 2. 典型N 阱CMOS 工艺的剖面图 3. Simplified CMOS Process Flow 4. MOS 电路版图举例 1 1) 简化N 阱CMOS 工艺演示 2氧化层生长 光刻1，刻N 阱掩膜版 氧化层 氧化层 P-SUB P-SUB 3曝光 光刻1，刻N 阱掩膜版 光刻胶 掩膜版 4氧化层的刻蚀 光刻1，刻N 阱掩膜版 5N 阱注入 光刻1，刻N 阱掩膜版 6形成N 阱 N 阱 P-SUB P-SUB 7氮化硅的刻蚀 光刻2，刻有源区掩膜版 二氧化硅 掩膜版 N 阱 8场氧的生长 光刻2，刻有源区掩膜版 二氧化硅 氮化硅 掩膜版 N 阱 9去除氮化硅 光刻3，刻多晶硅掩膜版 FOX N 阱 10重新生长二氧化硅（栅氧） 光刻3 ，刻多晶硅掩膜版 栅氧 场氧 场氧 N 阱 11生长多晶硅 光刻3 ，刻多晶硅掩膜版 多晶硅 多晶硅 N
