江苏长电科技股份有限公司 IC失效分析培训教材 IC工程部一般概念 v 失效：产品失去规定的功能。 v 失效分析：为确定和分析失效器件的失效模式，失效机理，失效原 因和失效性质而对产品所做的分析和检查。 v 失效模式：失效的表现形式。 v 失效机理：导致器件失效的物理，化学变化过程。 v 失效原因：导致发生失效的直接原因，它包括设计，制造，使用和 管理等方面的问题。 v 失效分析的目的：失效分析是对失效器件的事后检查，通过失效分 析可以验证器件是否失效，识别失效模式，确定失效机理和失效原 因，根据失效分析结论提出相应对策，它包括器件生产工艺，设计 ，材料，使用和管理等方面的有关改进，以便消除失效分析报告中 所涉及到的失效模式或机理，防止类似失效的再次发生。失效分析的设备和相应的用途 v 电特性测试设备 包括开短路测试设备（CD318A，S9100），万 用表和各种测试分厂的测试机。 v 观察测量设备 X射线透视机，金相显微镜（放大倍数50- 1000），测量显微镜（带摄像头并与显示器和终端处理电脑相连 ，放大位数50-500），立体显微镜，扫描电子显微镜SEM。 v 试验设备 烘箱，
