2016.04.26 岛津/Kratos AXIS ULTRA DLD 多功能光电子能谱 培训课程 X 射线光电子能谱（ XPS ，全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种 基于光电效应的电子能谱，又名化学分析电子能谱（ ESCA，全称为 Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）。 凯.西格班 （K. Siegbahn） ，瑞典乌普萨拉 (Uppsala)大学，研制开发出的一种新型表面分析仪 器和方法，于1954年获得氯化钠的首条高能高分辨X 射线光电子能谱，1969年首台商业单色X射线光电子 能谱仪，1981年诺贝尔物理学奖。 现今XPS的资源及标准： NIST XPS标准谱图 Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy 网上资源汇总： http:/ 主要仪器厂家：岛津-Kratos公司、日本真空PHI公司、美国热电-VG公司等一、X射线光电子能谱的测试范围u 定性：除H，He以外元素种类及化学状态（化学位移）信息(含量0.1at%)； u 定量：元素
