。 任务二 半导体压阻式传感器 在液位测量上的应用 一、任务描述与分析 对一个回油槽的油位进行测量,油槽的正常油位在 1.5米左右,最高为2米,油槽为敞开式结构,因为液体 的深度与产生的压力成比例,因而可以在油槽的底部 安装压力传感器来测量油位,比如安装扩散硅压力传 感器 。 Date 1二、相关知识 什么叫压阻效应? 在半导体材料上施加一作用力时,其电 阻率将发生显著的变化,这种现象称为压阻 效应 。 Date 2Date 3(二)什么是扩散硅压力传感器 利用压阻效应原理,采 用三维集成电路工艺技术及 一些专用特殊工艺,在单晶 硅片上的特定晶向,制成应 变电阻构成的惠斯顿检测电 桥,并同时利用硅的弹性力 学特性,在同一硅片上进行 特殊的机械加工,集应力敏 感与力电转换检测于一体的 这种力学量传感器,以气、 液体压强为检测对象,也称 为固态压阻传感器 。 Date 4(三)压阻式传感器的结构 当r=0. 635 ra时,纵向应力=0; r0. 635ra时,为负应力(压应力); r0. 635ra时,为正应力(拉应力) Date 51:高压进气口,2:低压进气口,3硅 杯,4.单晶硅膜