。 任务二 半导体压阻式传感器 在液位测量上的应用 一、任务描述与分析 对一个回油槽的油位进行测量，油槽的正常油位在 1.5米左右，最高为2米，油槽为敞开式结构，因为液体 的深度与产生的压力成比例，因而可以在油槽的底部 安装压力传感器来测量油位，比如安装扩散硅压力传 感器 。 Date 1二、相关知识 什么叫压阻效应？ 在半导体材料上施加一作用力时，其电 阻率将发生显著的变化，这种现象称为压阻 效应 。 Date 2Date 3（二）什么是扩散硅压力传感器 利用压阻效应原理，采 用三维集成电路工艺技术及 一些专用特殊工艺，在单晶 硅片上的特定晶向，制成应 变电阻构成的惠斯顿检测电 桥，并同时利用硅的弹性力 学特性，在同一硅片上进行 特殊的机械加工，集应力敏 感与力电转换检测于一体的 这种力学量传感器，以气、 液体压强为检测对象，也称 为固态压阻传感器 。 Date 4（三）压阻式传感器的结构 当r=0. 635 ra时，纵向应力=0； r0. 635ra时，为负应力(压应力)； r0. 635ra时，为正应力(拉应力) Date 51：高压进气口，2：低压进气口，3硅 杯，4.单晶硅膜
