第二章 P-N结 半导体器件物理 引言 PN结是几乎所有半导体器件的基本单元。除金 属半导体接触器件外,所有结型器件都由PN 结构成。PN结本身也是一种器件整流器。PN 结含有丰富的物理知识,掌握PN结的物理原理 是学习其它半导体器件器件物理的基础。 由P型半导体和N型半导体实现冶金学接触(原 子级接触)所形成的结构叫做PN结。 任何两种物质(绝缘体除外)的冶金学接触都 称为结(junction),有时也叫做接触( contact). 引言 由同种物质构成的结叫做同质结(如硅),由不同 种物质构成的结叫做异质结(如硅和锗)。由同种 导电类型的物质构成的结叫做同型结(如P-硅和P- 型硅、P-硅和P-型锗),由不同种导电类型的物质 构成的结叫做异型结(如P-硅和N-硅、P-硅和N锗 )。因此PN结有同型同质结、同型异质结、异型同 质结和异型异质结之分。广义地说,金属和半导体 接触也是异质结,不过为了意义更明确,把它们叫 做金属半导体接触或金属半导体结(M-S结)。 引言 70年代以来,制备结的主要技术是硅平面工艺。硅平 面工艺包括以下主要的工艺技术: 1950年美国人奥尔(R.Ohl)和