2016/7/27Wednesday 1 单晶断棱情况分析2016/7/27Wednesday 2 1. 单晶断棱的常见分类 2. 单晶断棱的原因分析 3. 如何减少单晶断棱 4. 单晶炉连续成晶不良怎么办 怎么才算是连续成晶不良 连续成晶不良要检查哪几个方面 目 录 Contents2016/7/27Wednesday 3 单晶断棱常见分类 1 放肩后200mm内卡棱 2 单晶等径中下部卡棱 3 四条棱线同时断 4 四条棱线不同时断2016/7/27Wednesday 4 放肩后200mm内卡棱 单晶等径中下部卡棱 四条棱线同时断 四条棱线不同时断 引细颈放肩转肩存在问题 热场温度梯度存在问题 熔体肯定存在杂质 熔体内存在高熔点杂质 单晶断棱原因分析2016/7/27Wednesday 5 几乎所有断棱都和杂质有关，因为单晶的生长力 是很强的，除非有外来异向晶核的侵入晶体生长 前沿和晶体内产生了较大热内应力（超出晶体弹 性形变的范畴，产生范性形变）才会破坏单晶的 无位错生长。 尽量选用好的硅原料，不用或少用埚底料，选用 优质涂钡坩埚，原料化腐清洗处理的好，炉子排 气排的好，工艺操作做
