1、36洁净室及相关受控环境 第 3 部分： 检测方法ISO 14644-3第一版 2005-12-15国 际 标 准 INTERNATIONAL SAD 37洁净室及相关受控环境第 3 部分：检测方法目 次前言引言1 范围2 引用标准3 术语与定义3.1 概述3.2 空气悬浮粒子测量3.3 空气过滤器与系统3.4 气流3.5 静电测量3.6 测量仪器与测量条件3.7 占用状态4 检测方法4.1 洁净室检测4.2 原理5 检测报告附件 A（资料） 各种检测的选择和实施顺序附件 B（资料） 检测方法附件 C（资料） 检测仪器文献（略）Reference numberISO 14644-3:2005(
2、E)Copyright International Organization for StandardizationProvided by IHS under license with ISONo reproduction or networking permitted without license from IHS38前 言国际标准化组织（ISO）为全球各国标准化组织（ISO 成员）的联合会，国际标准的编写工作由其下的各技术委员会进行。ISO 的各个成员组织若对技术委员会的某个课题感兴趣，它就有权参加该技术委员会的工作。国际上凡与 ISO 保持联系的政府的或是非政府组织，均可参与此项工作。
3、ISO 在电气技术标准化的各项事宜中，与国际电气技术委员会（IEC）进行紧密合作。国际标准草案是按照 ISO/IEC 指导条例第 2 部分的法则制定的。技术委员会的主要任务是制定国际标准。国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。至少需要 75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。ISO 14644 的这一部分中可能有些内容会涉及到专利权。ISO 不对识别任何或全部这类专利权负责。ISO 14644-3 是由 洁净室及相关受控环境 技术委员会 ISO/TC 209 编写的。ISO 14644 在 洁净室及相关受控环境 的总标题下包含下述各部分： 第 1 部分
4、： 空气洁净度分级 第 2 部分： 证明一直符合 ISO 14644-1 的检测和监测技术条件 第 3 部分： 检测方法 第 4 部分： 设计、建造和启动 第 5 部分： 运行 第 7 部分： 隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境 ） 第 8 部分： 空气分子污染分级正在编写的部分有： 第 6 部分：词汇39引 言洁净室及相关受控环境须将空气悬浮粒子控制在合适的水平，以完成相关的、对污染敏感的活动。下述行业的产品和工艺均受益于对空气悬浮污染物的控制：航天、微电子、制药、医疗器械、食品和医疗。本 部 分 ISO 14644 说 明 的 检 测 方 法 ， 可 用 于 说 明 ISO 146
5、44 其 它 部 分 中 所 述 的 洁 净 室 的特 性 。注：本部分 ISO 14644 并未包括所有洁净室参数的检测方法。ISO/TC 209 编制的其他文件中讨论了有特定产品或工艺的洁净室和洁净区的其他参数进行检测时所使用的方法和仪器（例如 ISO 14698 中对活物质的控制和测量方法， ISO 14644-4 中的洁净室功能性检测，ISO 14644-7 中的隔离装置检测）。此外还可以考虑其他的适用标准。本部分 ISO 14644 中的陈述参照了 ASTM，CEN，DIN，IEST，JACA，JIS 和 SEMI等标准。Comment l1: 句子需要更改40洁净室及相关受控环境第
6、 3 部分：检测方法注意 本部分 ISO 14644的应用可能涉及有害的材料、作业和设备。本部分 ISO 14644未提及所有与其使用有关的安全性问题。因此，使用本标准时，客户应负责制定适当的安全和卫生准则，及在使用前确定规程性限制的适用性。1 范围本部分 ISO 14644规定了指定级别的空气悬浮微粒洁净度的检测方法和测定洁净室和洁净区性能特性的检测方法。这种特性检测可用在 3种状态（空态、静态、动态）下的、单向流和非单向流这两种类型的洁净室和洁净区。检测方法中有检测仪器和检测方法方面的建议。如果洁净室和洁净区的类型影响到检测方法，则有其他检测方法的建议。其中的某些检测，则建议了几种不同的方
7、法和仪器，以便适合于不同的最终使用要求。如果客户与建造商一致同意的话，可以使用本部分的 ISO 14644中未包括的方法。替代方法不一定会提供等效的测量结果。本部分 ISO 14644不适用对洁净室或隔离装置内产品或工艺进行的测量。2 引用标准下列引用标准对本文件的使用是不可或缺的。标有日期的引用标准，只有该引用的版本适用。没标有日期的引用标准，则其最新版本的规范性文件（包括任何修正版）适用。ISO 7726:1998， 热环境人机工程学 -物理量测量仪ISO 14644-1:1999， 洁净室及相关受控环境 -第 1部分：空气洁净度分级ISO 14644-2:2000， 洁净室及相关受控环境
8、 -第 2部分：证明一直符合 ISO1 4644-1的检测和监测技术条件ISO 14644-4:2001， 洁净室及相关受控环境 -第 4部分：设计、建造和启动3 术语和定义本部分 ISO 14644采用的术语和定义如下。413.1 普通3.1.1 洁净室 cleanroom空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可最大限度减少房间内进入的、产生的、滞留的粒子，房间内温度、湿度和压力等其他相关参数按要求受控。ISO 14644-1:1992, 2.1.13.1.2 洁净区 clean zone空气悬浮粒子浓度受控的专门空间，其建造和使用方式可最大限度减少区内进入的、产生的、滞留的粒子，区内
9、温度、湿度和压力等其他相关参数按要求受控。注：洁净区可以是开放式的也可以是封闭式的，可以位于或不在 洁净室内。ISO 14644-1:1992, 2.1.23.1.3 洁净室设施 installation带有全部维护结构、空气处理系统、服务设施、公用设施的洁净室或洁净区。ISO 14644-1:1992, 2.1.33.1.4 隔离装置 separative device采用构造和动力学方法在确定的容积内外创建可靠隔离水平的设备。注：某些产业用隔离装置有：层流罩（洁净工作台）、隔离密封空 间、手套箱、隔离器、微环境。3.2 空气悬浮粒子测量3.2.1 气溶胶发生器 aerosol genera
10、tor能以加热、液压、气动、超声波音频、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当（例如 0.05 m 至 2 m）的微粒物质的仪器。3.2.2 空气悬浮粒子 airborne particle悬浮在空气中的、粒径从 1 纳米到 100 微米的活的或非活的固态或液态粒子。注 1：针对 ISO 14644-3。分级方面见 2.103。注 2：摘自 ISO 14644-3:2005, 3.2.2。3.2.3 数量中径 count median particle diameter （CMD ）根据粒子数量得出的粒径中值。注：粒径中值即一半的粒子粒径小于数量中值，一半的粒子粒径大于数量中值。3.2.4 大粒
11、子 macroparticle当量直径大于 5 m 的粒子。ISO 14644-1:1992, 2.2.63.2.5 M 描述符 M descriptor规定的或测得的每立方米空气中大粒子的浓度，以所用测量方法特性确定的当量直径表示。注：M 描述符可以作为采样点平均浓度的上限（或按照洁净室或洁净区中采样点的数量作为置信上限） 。不能使用 M 描述符规定悬浮粒子洁净度等级，但 M 描述符既可单独引述，也可与悬浮粒子洁净度等级同时引述。42ISO 14644-1:1992, 2.3.23.2.6 质量中径 mass median particle diameter （MMD）根据粒子质量得出的粒子
12、直径中值。注：质量中径即全部粒子质量的一半小于质量中径，另一半大于质量中径。3.2.7 粒子浓度 particle concentration单位空气体积中粒子的个数。ISO 14644-1:1992, 2.2.33.2.8 粒径 particle size在指定的粒子尺寸测定仪上，有相当于被测粒子的响应的球体的直径。注：光散射离散粒子计数器在粒子计数中使用的则是当量光学直径。 ISO 14644-1:1992, 2.2.23.2.9 粒径分布 particle size distribution粒子浓度的累积分布，它是粒径的函数。ISO 14644-1:1992, 2.2.43.2.10 检
13、测气溶胶 test aerosol具有已知浓度与受控的粒径分布的固体和（或）液体粒子的气态悬浮物。3.2.11 U 描述符 U descriptor每立方米空气中测出的或规定的粒子包括超微粒子浓度。注：可将 U 描述符作为采样点平均值上限（或作为置信上限，依洁净室或洁净区测量时所用的采样点数量确定） 。不能用 U 描述符规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述。ISO 14644-1:1992, 2.3.13.2.12 超微粒子 ultrafine particle当量直径小于 0.1 m 的粒子 。ISO 14644-1:1992，2.2.53.3 空气过滤
14、器与系统3.3.1 气溶胶检测 aerosol challenge用检测气溶胶对过滤器或已安装在位的过滤器系统进行检测。3.3.2 规定渗漏 designated leak客户与建造商商定的最大允许穿透限值。用离散粒子计数器或气溶胶光度计对洁净室设施进行扫描时可检测到的渗漏。3.3.3 稀释系统 dilution system按已知容积比将进入的气溶胶与无粒子空气混合以降低气溶胶浓度的系统。3.3.4 过滤器系统 filter system由过滤器、框架及其他支撑装置或外壳所组成的系统。3.3.5 终端过滤器 final filter处在于空气进入洁净室前终端位置上的过滤器。Comment l
15、2: 截面433.3.6 安装就位的过滤器系统 installed filter system安装在天花板、墙壁、风管或设备上的过滤器系统。3.3.7 过滤器安装后检漏 installed filter system leakage test为确认过滤器安装良好、没有向洁净室设施的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。3.3.8 渗漏 leak （过滤器系统）因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超过预期值。3.3.9 扫描 scanning用气溶胶光度计或离散粒子计数器的采样管、采取重叠的行程移过规定的检测）区、以发现过滤器渗漏的方法。3.3.10 “标准”渗漏率 sta
16、ndard leak penetration离散粒子计数器或气溶胶光度计的采样管停留在渗漏处以标准采样流量测得的渗漏率。注：穿透率是过滤器下风向粒子浓度与上风向浓度之比。3.4 气流3.4.1 换气次数 air exchange rate单位时间的换气率，以单位时间送入空气的体积除以空间的体积计算。3.4.2 平均风量 average air flow rate单位时间通过的平均空气容积，可据此确定洁净室或洁净区的换气次数。 注：风量以每小时立方米表示（m 3/h） 。3.4.3 测量平面 measuring plane用来检测或测量风速等性能参数的横断面。3.4.4 非单向流 non-uni
17、directional airflow送入洁净区的送风以诱导方式与区内空气混合的气流分布类型。ISO14644-2:2001, 3.63.4.5 送风量 supply airflow rate在单位时间内从风管或从终端过滤器送入洁净室设施的风量。3.4.6 总风量 total air flow rate在单位时间里通过洁净室设施的断面的风量。3.4.7 单向流 unidirectional airflow通过洁净区整个断面的、风速稳定、大致平行的受控气流。注：这种气流可定向清除洁净区的粒子。ISO 14644-2:2001, 3.113.4.8 气流均匀性 uniformity of airf
18、lowComment l3: 风量罩44单 向流各点的风速读数处在规定的平均风速偏差率内。3.5 静电测量3.5.1 放电时间 discharge time绝缘的导电监测板的电压降至原（正的或负的）充电电压所需的时间。3.5.2 补偿电压 offset voltage把未充电的绝缘导电板置于电离空气中时其上积累的电压。3.5.3 静电耗散特性 static-dissipative property以 传 导 或 其 它 机 理 将 工 作 表 面 或 产 品 表 面 的 静 电 荷 降 至 额 定 零 电 荷 或 特 定 值 的 能 力 。3.5.4 表面电压电平 surface voltag
19、e level用仪器测出的工作表面或产品表面的（正的或负的）静电电压电平。3.6 测量仪器和测量条件3.6.1 气溶胶光度计 aerosol photometer利用前散射光室测量空气悬浮粒子质量浓度的光散射测量仪。3.6.2 非等动力采样 anisokinetic sampling采样管入口处采样平均风速与该位置的单向流的平均风速显著不同的采样状况。3.6.3 撞击采样器 impact sampler令空气或气体撞击固体表面来采集其所携粒子的装置。注：每个后续的采集器表面接触的气溶胶流的飞行速度比前一个采集器表面快，由此可采集到比前个表面更小的粒子。3.6.4 凝聚核计数器 condensa
20、tion nucleus counter （CNC）用凝聚方法使超微粒子增大并用光学计数法进行计数的仪器。3.6.5 计数效率 counting efficiency给定粒径范围内所读出的粒子浓度与实际粒子浓度之比。3.6.6 差动迁移率分析仪 differential mobility analyzer （DMA ）根据粒子的电迁移率测量粒径分布的仪器。3.6.7 扩散元件 diffusion battery element多级粒径限制器的单个部件，运用扩散原理除去气溶胶气流中的较小粒子。3.6.8 离散粒子计数器 discrete-particle counter （DPC）具有显示和记录
21、规定空气容积中离散粒子的数量和尺寸（有尺寸识别功能）的仪器。3.6.9 虚计数、背景噪声、假计数 false count, background noise count, zero count当没有粒子时，离散粒子计数器因内外无需电信号所产生的计数。3.6.10带风量计的风罩 flowhood with flowmeter可将洁净室设施的终端过滤器或散流器完全罩住并直接测量其风量的装置。453.6.11 同轴采样 iso-axial sampling采样管入口气流的方向与所采单向流的流向相同的采样条件。3.6.12 等动力采样 isokinetic sampling采样管入口气流的平均风速与该
22、位置上单向流的平均风速相等的采样条件。3.6.13 粒径限制器 particle size cutoff device连接在离散粒子计数器或凝聚核计数器采样口、可将小于要求的粒子去除的装置。3.6.14 粒径阈值 threshold size为测量大于或等于该粒径的粒子浓度而选定的最小粒径。3.6.15 飞行时间粒径测量 time-of-flight particle size measurement用粒子飞过两块固定平面之间的距离所需的时间测量其空气动力学直径。注：根据粒子被诱导至与其速度不同的流场中产生速度漂移进行测量。3.6.16 虚拟冲撞器 virtual impactor使粒子用惯性
23、力冲撞理论（虚拟）表面将不同粒径的粒子分开。注：大粒子可穿过表面进入一停滞的空间，而小粒子碰到该表面时则随主气流偏转。3.6.17 代测板 witness plate当一特定表面无法接近或对搬运太敏感无法直接进行测量时、作为被测表面替代件的、有规定表面积的污染敏感材料。3.7 占用状态3.7.1 空态全部建成且设施齐备的洁净室，其所有动力均接通并在运行，只是没有生产设备、材料及人员。ISO 14644-1:1999, 2.4.13.7.2 静态在全部建成、设施齐备的洁净室中，已安装好的生产设备正在按客户和建造商商定好的方式运行，但场内没有人员。ISO 14644-1:1999, 2.4.23.7.3 动态全部建成、设施齐备的洁净室正在以规定的模式运行，且现场有规定数目的人员正以商定的方式工作。ISO 14644-1:1999, 2.4.34 检测方法4.1 洁净室检测4.1.1 规定的检测对洁净室设施分级应按照 ISO 14644-1，检测空气悬浮粒子计数（见表 1） ，复检的时间间隔应按照 ISO 14644-2 中的规定。
