椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率(共5页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率 5-姓名:陈正 学号：PB 系别：6系实验目的： 本实验的目的有以下两个： 1.了解椭偏仪测量薄膜参数的原理. 2.初步掌握反射型椭偏仪的使用方法.实验原理：椭圆偏振光经薄膜系统反射后，偏振状态的变化量与薄膜的厚度和折射率有关，因此只要测量出偏振状态的变化量，就能利用计算机程序多次逼近定出膜厚和折射率。参数描述椭圆偏振光的P波和S波间的相位差经薄膜系统关系后发生的变化，描述椭圆偏振光相对振幅的衰减。有超越方程：为简化方程，将线偏光通过方位角的波片后，就以等幅椭圆偏振光出射，；改变起偏器方位角就能使反射光以线偏振光出射，公式化简为： 实验仪器：分光计、He-Ne激光器及电源 、起偏器 、检偏器 、波片，待测样品、黑色反光镜、放大镜等；实验内容： 1. 按调分光计的方法调整好主机. 2. 水平度盘的调整. 3. 光路调整. 4. 检偏器读数头位置的调整和固定. 5. 起偏