精选优质文档-倾情为你奉上氦质谱检漏仪基本原理简介氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-910-12Pam3s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小其灵敏度可达10-1410-15Pam3s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3s。(1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJl型仪器为例介绍单级磁偏转型检漏仪。在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场
