精选优质文档-倾情为你奉上在谐振式传感器中，谐振子的品质因数Q是一个极其重要的指标，因此，品质因数也是MEMS谐振器件的关键参数，它决定基于MEMS谐振器件的传感器的检测灵敏度和检测分辨率。品质因数通常被用来量化MEMS中的能量耗散。实际应用的谐振敏感元件多为弹性敏感元件，其Q值的物理意义可以用一个等效的单自由度线性阻尼系统的运动微分方程来描述。如下图：其中m是谐振器件的等效质量；c是阻尼系数；k是弹性常量；可以视为外加在谐振器件上的简谐激励。解振动微分方程，可以得到振幅放大因子当谐振器件发生谐振时，振幅放大因子也称为品质因数，此时，所以，品质因数反比于阻尼系数，反应系统阻尼的大小。同时，品质因数还可以用来表示。其中为谐振频率，和代表幅值特性曲线中振幅为处的两个频率值，代表谐振频率处的幅值。从图中可以看出，两个半功率频率之差（）越小，谐振器件振动的振幅特征曲线尖锐度越高，其品质因数也就越高。因此，品质因数值的高低能反应谐振器件振动特性曲线的尖锐程度。或者，针对能量的定义：谐振器件的品质因数可以定义为一个振动周期内，振动系统存储的总能量
