第七章 先进制造技术第七章 先进制造技术 第一节 快速成形制造技术 第二节 精密超精密加工技术 第三节 微机械及其微细加工技术第三节 微机械及其微细加工技术 一、 简介 微机械在美国常被称作微型机电系统（Microelectromechanical System, MEMS）；在日本称作微机器（Micromachine）；而在欧洲 则称作微系统（Microsystem）。按外形尺寸，微机械可划分为 110mm的微小型机械,1m 1mm的微机械，以及1nm 1m的纳米机 械。第三节 微机械及其微细加工技术 微机械具有以下几个基本特点： 体积小，精度高，重量轻。 性能稳定，可靠性高。 能耗低，灵敏性和工作效率高。 多功能和智能化。 适于大批量生产，制造成本低廉。第三节 微机械及其微细加工技术 产品 主要应用领域 研制国家及单位 主要工艺方法 硅压力传感器 航空航天，医疗器械 美国斯坦福大学，加州弗里蒙特新传感器制造公司，日 本横河电机公司等 异向刻蚀工艺及加硼控制 法 微加速度传感器 航空航天，汽车工业 美国斯坦福大学， 加州弗里蒙特新传感器制造公司， 德国卡尔斯鲁核研究中心微结构技术研究
