MEMS项目工程前期阶段的质量管理目录第一章 行业背景分析2第二章 公司简介6一、 公司基本信息6二、 公司简介6第三章 工程项目前期阶段的质量管理8一、 前期阶段质量管理的依据和标准8第四章 宏观环境分析13第五章 项目简介18一、 项目名称及项目单位18二、 项目建设地点18三、 建设规模18四、 项目建设进度18五、 建设投资估算18六、 项目主要技术经济指标19第一章 行业背景分析MEMS是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。受物联网.5G、人工智能等技术的推动，传感器向着MEMS化、智能化、网络化、集成化的方向加速发展。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等，与传统机械系统相比具备许多优势。用MEMS工艺制造传感器、执行器或者微结构
