MEMS项目工程施工招标投标方案目录第一章 行业背景分析2第二章 工程项目施工招标投标6一、 签订合同6二、 招标文件编制与发放7第三章 宏观环境分析13第四章 公司简介15一、 公司基本信息15二、 公司简介15第五章 项目概况17一、 项目概述17二、 项目总投资及资金构成18三、 资金筹措方案19四、 项目预期经济效益规划目标19五、 项目建设进度规划19第一章 行业背景分析MEMS是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统,其内部结构一般在微米甚至纳米量级。受物联网.5G、人工智能等技术的推动,传感器向着MEMS化、智能化、网络化、集成化的方向加速发展。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域,几乎涉及到自然及工程科学的所有领域,如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等,与传统机械系统相比具备许多优势。用MEMS工艺制造传感器、执行器或者微结构,具有微