LOGO9.5 欧姆接触 金属半导体接触 整流接触肖特基势垒 非整流接触欧姆接触 肖特基接触的特点是接触 区的电流-电压特性是非线 性的,呈现出二极管的特 性,因而具有整流效应, 所以肖特基接触又叫整流 接触。欧姆接触的特点是 不产生明显的附加阻抗, 而且不会使半导体内部的 平衡载流子浓度产生明显 的改变。9.5 欧姆接触 定义: 1、当金属- 半导体接触的接触区的I-V 曲线是线性的,并且接触电 阻相对于半导体体电阻可以忽略不计时,则被定义为欧姆接触。 2 、指金属与半导体的接触,而其接触面的电阻值远小于半导体本 身的电阻,使得组件操作时,大部分的电压降在活动区(Active region) 而不在接触面。 3、不产生明显的附加阻抗,而且不会使半导体内部的平衡载流子浓 度发生显著的变化。 4、如果两种材料接触处的电阻很小,而且电阻与电流方向及大小无 关,则称这种电接触为欧姆接触。9.5 欧姆接触 形成欧姆接触的条件: (1)金属与半导体间有低的势垒高度(Barrier Height) (2)半导体有高浓度的杂质掺入(N 10EXP12 cm-3) 9.5 欧姆接触 欧姆接触的评价标准