氦质谱检漏原理ppt课件.pptx

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资源描述

1、 喷吹法-确定漏孔位置 2、 吸入法确定漏孔位置 3、 钟罩法测总漏率 4、 背压法测总漏率 1.漏点型(定性):确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置喷氦法(抽真空 喷氮 检测)-注意方向 2.漏率型(定量):不确定检测器件的漏点或漏孔的位置和数量,只是计算漏率(在已知漏泄处两侧压差的情况下,单位 时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量 )

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