第 第4 4 章 章 现代新型传感器 现代新型传感器第4 章 现代新型传感器 激光传感器、光栅传感器的工作原理。 学习目标 了解本章中所介绍的几种新型传感器的工作原理、 特点及主要应用场合。通过查阅有关文献并结合实际应 用，进一步加深对各种传感器以及由它们所组成的测试 系统的认识和理解，了解现代传感技术的发展情况。 学习重点第4 章 现代新型传感器 4.1 激光传感器 4.1.1 激光干涉测长 由计数值k根 据左式就可计算 出被测位移l 迈克尔逊干涉测长原理第4 章 现代新型传感器 三维激光干涉仪 激光干涉仪第4 章 现代新型传感器 4.1.2 激光跟踪空间坐标测量 目标镜 （猫眼逆反射器） 测量原理第4 章 现代新型传感器 激光跟踪干涉仪第4 章 现代新型传感器 4.2 光栅传感器 4.2.1 光栅传感器的组成、种类及结构 透射光栅与反射光栅 长光栅与圆光栅第4 章 现代新型传感器 4.2.2 莫尔条纹的形成原理及特点 对应关系 一个栅距变化对应一个莫尔条纹变化 放大作用 平均作用 特点：第4 章 现代新型传感器 光栅尺 光栅读数头第4 章 现代新型传感器 4.3 光纤传感器 物性型
