赵风周 物理学院 2011年6月 真空物理与技术 真空物理与技术 Vacuum Physics and Technology Vacuum Physics and Technology 1第四章 第四章 真空的测量 真空的测量 1 1 概述 概述 2 2 总压强测量 总压强测量 3 3 分压强测量 分压强测量 4 4 真空计校准 真空计校准 5 5 真空测量技术 真空测量技术 2第一节 第一节 概述 概述 一、真空度 一、真空度 真空度：真空技术中习惯以各向同性的中性气体的压强 真空度：真空技术中习惯以各向同性的中性气体的压强 来表示真空度的高低，压强越小，则真空度越高 来表示真空度的高低，压强越小，则真空度越高 真空计：通常把测量比大气压强小得多的气压的工具称 真空计：通常把测量比大气压强小得多的气压的工具称 为真空计或真空规 为真空计或真空规 一般意义上的真空测量属于混合气体全压强测量 一般意义上的真空测量属于混合气体全压强测量 真空测量技术还包含气体成分分析和分压强测量 真空测量技术还包含气体成分分析和分压强测量 真空计分类：绝对真空计和相对真空计，后者需要经过 真空计分类：绝对
