【精品】半导体集成电路工艺 复习.doc

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第一次作业:1,集成时代以什么来划分?列出每个时代的时间段及大致的集成规模。答: 类 别 时 间 数字集成电路模拟集成电路 MOS IC 双极IC SSI 1960s前期 MSI 1960s1970s 100500 30100 LSI 1970s 5002000 100300VLSI 1970s后期1980s后期 2000 300ULSI 1980s后期1990s后期 GSI 1990s后期20世纪初 SoC 20世纪以后2,什么是芯片的集成度?它最主要受什么因素的影响?答:集成度:单个芯片上集成的元件(管子)数。受芯片的关键尺寸的影响。3,说明硅片与芯片的主要区别。答:硅片是指

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