第3章 非制冷红外焦平面阵列原理 第三章 非制冷型红外焦平面阵列原理 3.1热绝缘结构的重要性 3.2主要热探测机制 3.3重要限制 3.4讨论第3章 非制冷红外焦平面阵列原理 电阻变化(辐射计) 热电结(TE传感器) 热释电效应 气体压力变化 等 红外辐射引起的温度变化 可由以下方式测得: 支撑衬底 面积A 传 感 器 支撑腿 信 号 辐 射 3.1热绝缘结构的重要性 1.热红外传感器的基本结构第3章 非制冷红外焦平面阵列原理 1)热量敏感区沿支撑物向衬底; 2)相邻像素之间横向热流通; 3)如果阵列没有固定在一个抽空的封装盒 里,热量会流向周围的大气。 热 传 导: 2.热传递的三个方式 热对流: 热辐射: 3.1热绝缘结构的重要性第3章 非制冷红外焦平面阵列原理 支撑结构具有三项功能: 热机械支撑 热传导路径 电子传导路径 两种类型的支撑结构: 倒装焊方式 隔板结构 3.支撑结构第3章 非制冷红外焦平面阵列原理 (1) 倒装焊方式 图3.axas公司热释电探测器装置结构。BST,钛酸锶钡第3章 非制冷红外焦平面阵列原理 (2) 隔板结构 图3.3Honeywell的单片微辐射计像