聚焦离子束的纳米加工 薛迪1 聚焦离子束的纳米加工技术 2 聚焦离子束系统的应用 3 FIB 纳米制造技术的应用 CONTENTSPART 基于聚焦离子束的纳米加工技术 01聚焦离子束简介 聚焦离子束(focused ion beam, FIB)与聚焦 电子束从本质上讲是一样的，都是带电粒子经过电 磁场聚焦形成细束。但聚焦电子束不同于聚焦离子 束。区别在于它们的质量，最轻的离子为氢离子也 是电子质量的1 840倍。离子束不但可以像电子束 那样用来曝光，而且重质量的离子也可以直接将固 体表面的原子溅射剥离，因此聚焦离子束更广泛地 作为一种直接微纳米加工工具。 离子束的应用已经有近百年的历 史。自1910年Thomson建立了气体 放电型离子源后，离子束技术主要 应用于物质分析、同位素分离与材 料改性。由于早期的等离子体放电 式离子源均属于大面积离子源，很 难获得微细离子束。真正的聚焦离 子束始于液态金属离子源的出现。 1975年美国阿贡国家实验室开发出 液态金属离子源(LMIS)，1978年美 国加州休斯研究所的R.L.Seliger等 人建立了第一台装有Ca离子LMIS的 FIB系统，
