薄膜材料与技术 宋春元 材料科学与工程学院 第四章 薄膜的形成与生长v凝聚过程 v成核理论 v生长过程 v薄膜的生长模式 第四章 薄膜的形成与生长薄膜的形成与生长： 薄膜的形成与生长： 薄膜的形成一般分为凝结过程、核形成与生长过程、 岛形成与结合过程。 凝结过程是薄膜形成的第一阶段：是气相原子、离子 或分子入射到基体表面之后，从气相到吸附相，再到 凝结相的一个相变过程。 4.1 4.1 薄膜生长概述： 薄膜生长概述：4.2 4.2 凝聚过程 凝聚过程 气体原子到 达基片表面 后发生三种 现象： p 与基体表面原子进行能量交换被吸附； p 吸附后气相原子仍有较大的解吸能，在基 体表面作短暂停留后再解吸蒸发(二次蒸发) ； p 与基体表面不进行能量交换而反射回去。 1. 1. 吸附 （1） 吸附现象 物理吸附：由范德瓦尔斯力引起的吸附。 化学吸附：由化学键结合力引起的吸附（经由 表 面悬挂键，即不饱和的化学键。）。 （2） 物理、化学吸附（3）入射原子的滞留时间 脱附能E d 与平均停留时间 a 的关系 E d (kcal/mol) 2.5 5 10 15 20 25 30 a (s) 6
